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一种晶棒滚磨前对中装置制造方法及图纸
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下载一种晶棒滚磨前对中装置的技术资料
文档序号:12292210
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一种晶棒滚磨前对中装置,包括下定位机构、卡紧晶棒的中间卡盘机构、上定位机构和立柱,立柱下端固定在下定位机构的一侧,上定位机构通过吸盘底座与立柱的上部固定连接,立柱的中部滑动套设有滑套和控制滑套在立柱上滑动的滑套刹车组件,中间卡盘机构通过卡盘...
该专利属于麦斯克电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过麦斯克电子材料有限公司授权不得商用。
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