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一种多注阴极组件的真空处理方法技术
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文档序号:12269494
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本发明公开了一种多注阴极组件的真空处理方法,首先对阴极组件进行烘烤排气,去除封装玻管内外表面吸附的水蒸气,然后对阴极组件进行加电除气,抽走阴极上吸附的气体和杂质,对安装的阳极进行除气,在阴阳两极之间通上直流电压进行阳极除气,在热子组件不同功...
该专利属于安徽华东光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过安徽华东光电技术研究所授权不得商用。
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