下载具有静电摆式加速度计的传感器以及控制这种传感器的方法的技术资料

文档序号:12258039

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一种加速度计传感器,包括具有静止的第一和第二电极以及第三电极的至少一个静电摆式加速度计,所述静止的第一和第二电极被固定到外壳并被连接到激励电路,而所述第三电极由连接到外壳的摆锤承载以便是可移动的且被连接到检测电路。所述激励电路具有连接到开关...
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