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本申请涉及MEMS设备，特别地MEMS电容式换能器，且还涉及用于形成这样的MEMS换能器的方法，该MEMS换能器提供对于声学冲击的增强的耐久性和适应性。本申请描述的换能器结构具有被支撑在第一容积(109)和第二容积(110)之间的柔性膜(1...
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