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一种离子推力器试验设备的真空抽气系统技术方案
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文档序号:12255683
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本发明公开了一种离子推力器试验设备的真空抽气系统。使用本发明能够为离子推力器地面试验设备提供真空环境,并满足离子推力器地面试验设备无油真空、大抽气能力、防溅射、等离子体防护、可靠性高的特殊要求。本发明包括主舱真空容器真空抽气装置和副舱真空容...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。
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