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一种超晶格电解质的制备工艺制造技术
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下载一种超晶格电解质的制备工艺的技术资料
文档序号:12254362
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本发明公开了一种超晶格电解质的制备工艺,采用脉冲激光沉积法,这种方法易制多层膜,只需通过简单的换靶就可以,反应迅速,生长快。而且靶材容易制备,不需加热,易于在较低温度下原位生长取向一致的结构和外延单晶膜。本制备工艺可有效降低固体氧化物燃料电...
该专利属于内蒙古大学所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古大学授权不得商用。
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