下载光学传感器的技术资料

文档序号:12251490

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本发明公开了光学传感器,该光学传感器包含半导体块,包含前侧与背侧。导波区位于半导体块的背侧上方,包含核心层,导波区用以引导入射光。光感测区域位于半导体块中,包含多接合光二极管。光感测区域用以感测来自导光区的发射光。本发明通过在生物样品与互连...
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