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红外线传感器及其制造方法技术
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文档序号:12251089
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红外线传感器的制造方法包括下述工序:在第1区域上形成温差电堆支撑层的工序;在其上表面上形成温差电堆(24)的工序;然后,在第2区域上形成电路元件的工序;以覆盖所述第1和第2区域的方式形成上部层(41)的工序;将上部层(41)向下挖到中途的工...
该专利属于欧姆龙株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过欧姆龙株式会社授权不得商用。
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