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一种晶体炉随炉退火装置制造方法及图纸
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下载一种晶体炉随炉退火装置的技术资料
文档序号:12250214
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本实用新型公开了一种晶体炉随炉退火装置,包括温度显示器、外保温筒、内保温筒和晶体生长炉,所述晶体生长炉的上方设有内保温筒,所述内保温筒的外侧嵌套密封设有外保温筒,所述外保温筒与内保温筒的内部设有导热油,所述外保温筒与内保温筒的内部交错均匀设...
该专利属于上海赢奔光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海赢奔光电科技有限公司授权不得商用。
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