下载一种混合驱动的可调谐光学驱动器的技术资料

文档序号:12236683

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种混合驱动方式的可调谐光学驱动器,包括热驱动变形梁1、磁驱动变形梁2、驱动电极3-6、电隔离槽7-11、微镜面12,其特征在于所述磁驱动梁2和热驱动梁1通过驱动连接结构与微镜面12连接,根据不同磁场方向和施加的电压,所述驱动...
该专利属于深圳市盛喜路科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市盛喜路科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。