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一种混合驱动的可调谐光学驱动器制造技术
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文档序号:12236683
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本实用新型涉及一种混合驱动方式的可调谐光学驱动器,包括热驱动变形梁1、磁驱动变形梁2、驱动电极3-6、电隔离槽7-11、微镜面12,其特征在于所述磁驱动梁2和热驱动梁1通过驱动连接结构与微镜面12连接,根据不同磁场方向和施加的电压,所述驱动...
该专利属于深圳市盛喜路科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市盛喜路科技有限公司授权不得商用。
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