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本发明公开了一种倾角传感器敏感头结构、制作工艺及其信号处理电路，该倾角传感器敏感头结构包括：铍铜振动元件，设置于上述敏感头结构的中间层，包括：铍青铜外框，铍青铜弹性梁，铍青铜质量块，其中，上述铍青铜质量块通过上述铍青铜弹性梁与上述铍青铜外框...
该专利属于北京信息科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京信息科技大学授权不得商用。

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