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本发明公开了一种磁控溅射装置阳极部件，包括：阳极模块、电源连接模块、第一至第四绝缘模块、水冷模块，以及第一至第二遮挡模块；所述阳极模块为矩形结构，中心设有开口；所述电源连接模块为框形结构，连接所述阳极模块的边缘；所述第一绝缘模块设置在所述阳...
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