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本发明公开了一种在线风刀吹干装置，用于对制绒或湿法刻蚀后电池硅片进行干燥，包括相对设置的上、下风刀，风刀出风口设计为三排间错排列具有一定距离的风孔形式，中间一排风孔倾斜设置，当硅片在滚轮传动下经过风刀时，中间一排风孔吹出风的倾斜方向与硅片运...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

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