下载单晶硅烘箱的技术资料

文档序号:12213018

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本实用新型公开了一种单晶硅烘箱,包括箱体、控制器和物料小车,在箱体内部的底面设有两条平行的长方形凹槽,在长方形凹槽内设有电磁铁,在电磁铁的上方设有铁材料的隔离层,在箱体的外侧与长方形凹槽上的隔离层对应的位置设置有直角型过渡台,在隔离层上设有...
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