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本实用新型公开了一种适用于玻璃面板的磁控溅射装置，其包括有溅射工艺室，溅射工艺室两侧分别设置有一块磁性端块；每一块磁性端块均连接有移动丝杆，所述移动丝杆在溅射工艺室前端面与后端面所在平面之间，沿水平方向进行延伸，且其轴线平行于磁性端块的端面...
该专利属于安徽立光电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽立光电子材料股份有限公司授权不得商用。

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