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本实用新型公开了一种针对卧式线溅射系统的掏空靶材，包括背板和靶材本体，所述靶材本体层叠设置在所述背板表面，所述靶材本体由若干靶材单元拼接形成，所述靶材单元包括若干分居两侧排列的侧部靶材单元和设置在侧部靶材单元端部的端部靶材单元，所述侧部靶材...
该专利属于广东汉能薄膜太阳能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东汉能薄膜太阳能有限公司授权不得商用。

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