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本发明涉及一种用于铂掺杂的浸泡溶液，所述溶液中含有氯亚铂酸铵和氢氟酸。本发明还提供了一种快恢复二极管制备工艺中的铂掺杂方法，所述方法包括如下步骤：（1）将硅片浸泡在铂掺杂的浸泡溶液中，获得吸附了铂离子的硅片；（2）退火，获得铂掺杂的硅材料。...
该专利属于无锡华润华晶微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润华晶微电子有限公司授权不得商用。

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