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本发明提供一种能提高排气量和极限真空度并能谋求装置的小型化的隔膜真空泵。该隔膜真空泵通过如下方式形成，即，形成隔膜真空泵单元(11a)，并将隔膜真空泵单元沿上下方向叠放多层，利用齿形带(2)将在上下方向上相邻的隔膜真空泵单元的凸轮轴彼此连结...
该专利属于东京理化器械株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京理化器械株式会社授权不得商用。

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