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本发明公开了一种离子源辅助ITO膜热蒸镀工艺，包括以下步骤：A、将基板清洗干净后夹装在镀膜伞上置于镀膜室内；B、镀膜室抽真空并对基板进行加热；C、在镀膜室中的真空条件及基板的温度达到设定值时，镀膜伞进行转动；D、开启离子源并设定离子源工作参...
该专利属于京浜光学制品（常熟）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京浜光学制品（常熟）有限公司授权不得商用。

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