下载一种复合式单晶硅用坩埚的技术资料

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本实用新型涉及坩埚技术领域,具体地说是一种高寿命、低成本的复合式单晶硅用坩埚,其特征在于:该坩埚为由埚帮、埚底组成的复合式结构,所述埚帮为中空筒状结构,其底部设有两对相互对称的螺栓过孔;所述埚底为采用两个半圆底拼接而成的圆形平底结构,每个半...
该专利属于上海珩锢新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海珩锢新材料科技有限公司授权不得商用。

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