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一种用于单晶硅预清洗的热水罐，包括石英罐体、向石英罐体内输入纯水的进水口、排出石英罐体内纯水的出水口和设置在石英罐体底部用于加热纯水的加热体。本实用新型通过在化学液槽增加一个热水罐给化学槽供应热水，当化学液槽需要更换化学液时，热水槽可以直接...
该专利属于麦斯克电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯克电子材料有限公司授权不得商用。

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