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本申请提供一种共晶键合方法,该方法包括:在第一基片表面形成第一突起部和第一键合材料图形;在第二基片表面形成第二突起部和第二键合材料图形;将所述第一键合材料图形和所述第二键合材料图形对齐,并在预定压力和预定温度下按压所述第一基片和所述第二基片...该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。
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