温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开一种碳化硅外延炉，包括顶盖和反应室；顶盖包括外盖，上顶盖、下顶盖、锁扣和第一测温系统，上顶盖和下顶盖通过锁扣固定在外盖上，反应室包括第二测温系统、一个大盘基座、若干个小盘基座、盖片和支架，盖片通过支架安装在大盘基座中间，小盘基...
该专利属于瀚天天成电子科技（厦门）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瀚天天成电子科技（厦门）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。