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本发明涉及一种超高深宽比的超结制造方法，其包括如下步骤：a、提供第一导电类型的衬底晶圆，并在所述第一导电类型衬底晶圆上淀积第二导电类型导电层，所述第二导电类型导电层全覆盖在衬底晶圆上；b、在上述衬底晶圆上淀积第一导电类型导电层，所述淀积的第...该专利属于江苏物联网研究发展中心;江苏中科君芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏物联网研究发展中心;江苏中科君芯科技有限公司授权不得商用。