下载一种可控晶体尺寸的DAST晶体生长工艺的技术资料

文档序号:12165107

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本发明公开了一种可控晶体尺寸的DAST晶体生长工艺。该工艺通过三个基础步骤可以产生多种工艺的组合。其中,步骤A:DAST的甲醇溶液浓度为2.5-3.5wt%,主要是用于使DAST晶体沿a轴和b轴方向生长;步骤B:DAST的甲醇溶液浓度为1....
该专利属于中国电子科技集团公司第四十六研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十六研究所授权不得商用。

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