温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

具备：绝缘性基板(2)，其具有气体入口(4)和气体出口(6)且具有内部流路；阀机构，其包括MEMS阀元件(14)，该MEMS阀元件(14)直接安装于上述绝缘性基板(2)的表面或者背面，并经由连通于上述内部流路的端口与上述内部流路连接；压力传...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。