下载平面倾斜检测装置及方法的技术资料

文档序号:12144620

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本发明提供了一种平面倾斜检测装置,包括正交安装于被测平面上的第一和第二变面积差动式电容传感器、分别将所述第一和第二变面积差动式电容传感器的电容量转换为第一和第二直流电信号输出的第一和第二测量电路、以及根据所述第一和第二直流电信号计算被测平面...
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