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一种用于准分子激光器的气体循环系统技术方案
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下载一种用于准分子激光器的气体循环系统的技术资料
文档序号:12143985
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本发明公开了一种气体循环系统,用于循环准分子激光器的工作气体,准分子激光器的腔体具有进入管道和出气管道,气体循环系统包括冷凝器(1)、氧气提供装置(2)、压缩机(3)和储气室(4),储气室(4)分别与出气管道、冷凝器(1)、氧气提供装置(2...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。
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