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本发明公开了一种微振动传感器，包括：依次层叠设置的第一摩擦层，第一隔离层，中间摩擦层，第二隔离层和第二摩擦层；第一、第二摩擦层分别包括层叠的高分子聚合物绝缘层和接地电极；中间摩擦层包括第一输出电极和第二输出电极，并制作有悬臂梁结构；主体部分...
该专利属于纳米新能源（唐山）有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过纳米新能源（唐山）有限责任公司授权不得商用。

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