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本实用新公开了一种离子反应镀膜机自动烘烤装置,包括长方形箱体,固定支架,箱体内共设有两层石英加热管,所述箱体的前、后挡板上设有进出调节口。在所述箱体中设有两层石英加热管,在箱体的底部和上部各设有一层,上层设6根,下层设5根。本烘烤装置能大大...该专利属于东莞市明谷一纳米材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市明谷一纳米材料有限公司授权不得商用。
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