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本发明的硅基低漏电流双固支梁可动栅NMOS相位检测器，由双固支梁可动栅NMOS管和低通滤波器构成。NMOS管为增强型，制作在Si衬底上，栅极悬浮在栅氧化层上方，与下拉电极和绝缘层共同构成一个固支梁可动结构。固支梁的下拉偏置电压设计等于NMO...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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