下载内负压送风方法以及应用该方法的洁净设备的技术资料

文档序号:12125339

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本发明公开了一种负压送风方法,所述方法包括:设置一个静压区;在静压区外形成一个负压区;设置一个气压高于大气压但低于所述静压区的局部无菌操作区;静压区和局部无菌操作区之间设置高效过滤器,该静压区内空气经过该高效过滤器过滤进入所述的局部无菌区。...
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