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一种脉冲溅射电源，包括顺序连接的三相整流电路、逆变电路、高频变压器、整流滤波电路、脉冲发生电路；所述脉冲发生电路的结构为：包括开关管V输出端连接于电感L抽头a端；电感L抽头o端连接于直流电源电路负极，电感L抽头b端与磁控溅射装置靶材相连，开...
该专利属于唐山标先电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过唐山标先电子有限公司授权不得商用。

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