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本实用新型公开了一种高温低压扩散装置，包括扩散炉和真空泵，所述扩散炉内设有装载硅片的石英舟、加热区域，通入扩散气体的进气管以及排出扩散处理尾气的排气管；所述扩散炉与真空泵相通以使扩散炉内处于低压状态。采用本实用新型，可提高硅片间方阻的稳定性...
该专利属于广东爱康太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东爱康太阳能科技有限公司授权不得商用。

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