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本发明提供能够使长度方向为上下方向并用检查旋转体可靠地支承被检体的检查装置。该检查装置具备:为了检查被检体(PS)而以保持该被检体(PS)的状态旋转并沿周向输送被检体的检查旋转体(R)。保持部(60)在检查旋转体(R)的周缘部分多台排列地设...
该专利属于日立产业控制解决方案有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日立产业控制解决方案有限公司授权不得商用。

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