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本实用新型公开了一种磁场旋转磁控柱弧靶，包括靶座，分水套，传动机构，靶体，防水罩和磁轴。靶座包括大法兰，以及大法兰下部连接的屏蔽罩，大法兰上部的密封环、密封座和绝缘压环；分水套含带支架分水环、密封轴座，以及密封轴座的电极连接片和密封轴座内的...
该专利属于成都金倍科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都金倍科技有限公司授权不得商用。

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