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本实用新型公开了一种探针台的晶圆芯粒自动对准装置，包括晶圆探针台；其中它还具有用于控制晶圆探针台运动的视觉系统；所述的视觉系统，包括工控机，及其上与之连接的支撑臂，该支撑臂上安装有CCD摄像机及CCD摄像机连接的镜头和安装在镜头上的LED光...
该专利属于秦皇岛视听机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过秦皇岛视听机械研究所授权不得商用。

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