下载一种籽晶的铺设方法、准单晶硅片的制备方法及准单晶硅片的技术资料

文档序号:12082113

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本发明提供了一种籽晶的铺设方法,用于准单晶的铸造,包括以下步骤:在坩埚底部铺设籽晶,所述籽晶的生长面晶向同为[001]或同为所述籽晶紧密接触铺满所述坩埚底部形成籽晶层,相邻两个籽晶接触的侧面晶向属于同一晶向族且构成重合位置点阵类型的晶界:当...
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