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一种用于监控制造太阳能电池的工艺的清洗组件和方法，其中该方法包括：将至少一个太阳能电池子结构传递至其中具有清洗液的清洗室，使得太阳能电池子结构至少部分地浸入清洗液。使用清洗液从太阳能电池子结构去除残留材料。在太阳能电池子结构被至少部分地浸入...
该专利属于台积太阳能股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台积太阳能股份有限公司授权不得商用。

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