下载用于平面光学元件的便携式调平装置的技术资料

文档序号:12066607

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本发明公开了一种用于平面光学元件的便携式调平装置,包括中间留有调整间隙的上盘和下盘,上盘和下盘通过锁紧螺钉和拉力弹簧连接,锁紧螺钉贯穿上盘位于边缘处的平台和下盘,上盘的侧面四周设有四个真空吸附气道,上表面设有环形气路,下端处固定有带真空吸接...
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