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激光加工装置以及激光加工方法制造方法及图纸
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文档序号:12064937
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本发明提供一种激光加工装置以及激光加工方法,通过必要最小限度的衍射光学元件,能够得到适于加工的所希望的轮廓。从激光振荡器(1)照射的激光(L1)通过移动单元(3)而被定位为设置于衍射光学元件(2)的至少2个以上的精细衍射图案中的1个精细衍射...
该专利属于松下知识产权经营株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下知识产权经营株式会社授权不得商用。
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