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本实用新型公开的是一种用膜分离法回收提取高纯度SF6气体的装置,主要解决了现有技术中未有从SF6气体浓度在15.7%以下的混合气体中提纯SF6气体的装置,且现有SF6气体提纯的装置相对复杂的问题。本实用新型包括压缩机(1)和连接在压缩机(1...该专利属于西梅卡亚洲气体系统成都有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西梅卡亚洲气体系统成都有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开的是一种用膜分离法回收提取高纯度SF6气体的装置,主要解决了现有技术中未有从SF6气体浓度在15.7%以下的混合气体中提纯SF6气体的装置,且现有SF6气体提纯的装置相对复杂的问题。本实用新型包括压缩机(1)和连接在压缩机(1...