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本发明提供一种坩埚隔绝层的制造方法及其所应用的喷涂装置，所述方法包括如下步骤：提供喷涂装置，以供下述喷涂步骤使用；加热坩埚并测量其温度，以得到喷涂前温度；采用喷涂单元依照预设喷涂手段将浆料喷涂在坩埚内壁面，以在坩埚内壁面成形隔绝层；测量隔绝...
该专利属于昆山中辰矽晶有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山中辰矽晶有限公司授权不得商用。

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