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线锯的再次开始运转方法技术
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文档序号:12060382
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本发明提供一种线锯的再次开始运转方法,该线锯是一边将钢线的新线从供给侧供给至回收侧,一边使钢线在钢线轴向上作往复行进,向钢线供给切断用的浆料,并将工件相对地压下,使该工件压抵并切入进给于作往复行进的钢线,而将工件切断成晶圆状;该线锯的再次开...
该专利属于信越半导体株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越半导体株式会社授权不得商用。
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