下载提拉单晶炉晶体恒组分生长控制系统和方法的技术资料

文档序号:12059650

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本发明公开了一种提拉单晶炉晶体恒组分生长控制系统和方法,本发明协同控制晶体生长速度和原料补充速度,保证长出的晶体重量与补充的原料重量一致,使晶体结晶液面高度始终保持不变;而补充原料的成分经过分析和理论计算与长出的晶体成分一致,进而保证了坩埚...
该专利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所;中国科学院福建物质结构研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第二十六研究所;中国科学院福建物质结构研究所授权不得商用。

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