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一种提高MOCVD外延片波长良率的卫星盘，在卫星盘体的背面中心开设固定栓支撑小孔，在卫星盘体的正面中心设置一个中心片槽，以所述中心片槽为对称中心，在卫星盘体的正面布置若干边缘片槽，其特征在于：在所述中心片槽的底部开设内凹槽。通过石墨盘与空隙...
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