下载基板搬运装置及基板搬运系统的技术资料

文档序号:12054454

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本发明公开了一种基板搬运装置及基板搬运系统,以有效保持基板在搬运时的平坦性,提高所生产显示产品的显示品质。基板搬运装置包括并排设置在所述基板搬运装置主体上的多个主臂,每个主臂的两侧具有多个分支臂,多个主臂与多个分支臂位于同一支撑平面内。在本...
该专利属于合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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