下载显影装置的技术资料

文档序号:12047998

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一种显影装置,包括:具有多个槽的显影套筒;以及磁场产生部分,所述磁场产生部分构造成布置在显影套筒的内侧并且至少包括吸取极和切割极。所述磁场产生部分在吸取极的磁通密度的峰值和切割极的磁通密度的峰值之间包括Fr衰减区域和Fθ反向区域。在Fr衰减...
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