温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及用于处理衬底的载体装置和微电子器件衬底处理装置。用于处理衬底的载体装置包括：具有第一多个腔的第一载体板，第一多个腔中的每个腔的尺寸被设计为接收衬底的第一侧；具有第二多个腔的第二载体板，第二多个腔中的每个腔的尺寸被设计为当第一载...
该专利属于苹果公司所有，仅供学习研究参考，未经过苹果公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。