下载晶圆片储存盒的技术资料

文档序号:12038824

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本实用新型公开了一种晶圆片储存盒,包括盒体、上盖和底盖,盒体与上盖和下盖之间分别通过锁舌组件扣合连接,盒体内沿长度方向的两内侧壁上垂直设有多条隔槽板,隔槽板的固定端的宽度大于其自由端的宽度,相邻两条隔槽板之间形成用于插放晶圆片的置放槽,上盖...
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